Feature
クリーン対応が取れた搬送システムです。
耐環境性に優れています。
ESD(静電除去)対策により静電気の発生が抑えられます。
クリーン内での重量物搬送を可能にしました。
Specification
名称 | 仕様 |
---|---|
特長 | ESD 対策搬送コンベヤ |
駆動方法 | スパイラルギヤ駆動 |
ローラー・材質 | 用途により受注生産 |
ローラーピッチ | 100mm以上 |
対象搬送物 | ガラス基板、カセット 等 |
搬送速度 | Max.30m/分 |
清浄度 | クラス10(0.1μ基準)対応可能 |