清浄度クラス 10 以下のクリーン環境に対応

Clean:清浄度クラス 10 以下のクリーン環境に対応。
Conductive:静電圧 5V 以下。
Convenient:省電力設計。

Feature

特長

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EX3C-CO

限界洗浄度に近い HD カセットや液晶 FP カセットの搬送システム性能。 ESD(静電除去)性能の高度化を強く求められる HDD 生産システムに!

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EX3C-ST

FPD 用ガラス基板など、クリーン環境での幅広搬送に。

Option

オプション

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リフター

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反転機

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シフター

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アライメント

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大形ローラー(φ 250)

金属部品を噛み合わせない設計思想が、安全で静かなクリーンコンベヤを生みました。平均騒音値 60dB。

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駆動部の隔離排気

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反駆動部の排気ポート

Specification

標準仕様

EX3C-ST EX3C-CO
特長 シャフト通し 幅広搬送 中抜き搬送
駆動方法 タイミングベルトとタイミングプーリーによる駆動
ローラー材質 導電性ポリアセタール樹脂 UPE、PEEK 他 選択可能 導電性ポリアセタール樹脂
ローラー形状 ツバ付ローラー他 選択可能
ローラーピッチ 50mm 以上(選択可能)
対象搬送物 カセット、パレット 等 FPD 用ガラス基板 等 カセット、パレット 等
ガラス基板最大形状(W) 第 10 世代用大型基板対応可能
静電気 5V 以下 5V 以下
コンベヤ電源 AC200V(三相)・90W 以下
搬送速度 Max.24m/分
清浄度 クラス 10 対応可能

Drawing

標準図

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枚葉搬送タイプの標準図

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センターオープンタイプの標準図

Image

製品画像

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