Feature
限界洗浄度に近い HD カセットや液晶 FP カセットの搬送システム性能。 ESD(静電除去)性能の高度化を強く求められる HDD 生産システムに!
FPD 用ガラス基板など、クリーン環境での幅広搬送に。
Option
リフター
反転機
シフター
アライメント
大形ローラー(φ 250)
金属部品を噛み合わせない設計思想が、安全で静かなクリーンコンベヤを生みました。平均騒音値 60dB。
駆動部の隔離排気
反駆動部の排気ポート
Specification
EX3C-ST | EX3C-CO | ||
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特長 | シャフト通し | 幅広搬送 | 中抜き搬送 |
駆動方法 | タイミングベルトとタイミングプーリーによる駆動 | ||
ローラー材質 | 導電性ポリアセタール樹脂 | UPE、PEEK 他 選択可能 | 導電性ポリアセタール樹脂 |
ローラー形状 | ツバ付ローラー他 選択可能 | ||
ローラーピッチ | 50mm 以上(選択可能) | ||
対象搬送物 | カセット、パレット 等 | FPD 用ガラス基板 等 | カセット、パレット 等 |
ガラス基板最大形状(W) | ー | 第 10 世代用大型基板対応可能 | ー |
静電気 | 5V 以下 | ー | 5V 以下 |
コンベヤ電源 | AC200V(三相)・90W 以下 | ||
搬送速度 | Max.24m/分 | ||
清浄度 | クラス 10 対応可能 |