Feature
大型液晶基板カセットのクリーン(クラス 100)搬送に適応します。
ESD(静電除去)対策により静電気の発生を抑えられます。
500 キログラムの搬送物質量にも対応する搬送システムです。
振動が少ないコンベヤ構造です。
ロボットアーム・AGV フォークとのアクセス容易な構造です。
薄型構造のため、天井搬送にも対応します。
シンプル構造のため、安全でメンテナンス作業も容易です。
Specification
名称 | 仕様 |
---|---|
搬送物質量 | Max.500kg |
搬送速度 | Max.25m/分 |
清浄度 | クラス 100 以下対応可能 |
静電気 | 150V 以下(5V 以下対応可) |
振動(G) | 0.5G 以下(搬送速度による) |
騒音値 | 65dB 以下 |
ローラーピッチ | 100mm |
ローラー径 | φ70mm |
駆動モーター | 40W(2 台)、φ3、AC200V(他)仕様も対応可 |
フリーフロー | 標準仕様は不可(搬送物によっては対応可能) |